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POU工艺气体管路的设计思路

文章来源:本站人气:618发表时间:2019-06-28 17:27:32

POU工艺气体管路的设计思路


高纯气体管路的设计,所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU),为了达到工艺对气体的质量要求,在气体出口指标一定的情况下,则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。高纯气体管路的设计选哪家? 深圳沃飞科技有限公司是一家从事气体应用系统解决方案:电子特气系统、实验室气路系统、工业集中供气系统、大宗气体(液体)系统、高纯气体及特种工艺气体二次配管系统、化学品输送系统、纯水系统提供从技术咨询、整体规划、系统设计、选定设备、预制组件、项目现场安装建设、整体系统检测等全套工程技术服务。下面我们一起来看看吧,希望对大家有所帮助。


气体管路


管路的材质则依使用的需求进行选择,若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管,经电解拋光处理,耐腐蚀,表面粗糙度低,约为0.3μm以下,其值远低于经过光辉烧结处理之316L BA管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微涡流,而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体,如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低,其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管,则用于不做为供气管路的双套外管。

对于特殊气体来讲,气体品种多,有毒有害气体多,原来是一机台配一气柜,高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本,且有的还布置在工艺间内,存在着泄漏的安全隐患。现在广泛采用集中供气系统,气柜集中,自控系统不断完善,其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟,特气间也与工艺间隔离,并对房间有防爆要求,工作的安全性大大提高。

以上就是我们简单介绍的POU工艺气体管路的设计思路,希望能给大家提供参考。

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